清华印象

微纳加工平台:开放共享 交叉创新

20多位“全副武装”的学生面戴口罩、身着无尘服,一边聆听老师的细致讲解,一边透过玻璃墙认真观察超净间一尘不染的微纳电子加工装置,眼神里充满惊讶和对科学的敬意——作为清华大学先进科学实验室的代表之一,微电子与纳电子学系的微纳加工平台每年都会在校研究生会举办的实验平台开放活动中“一展芳容”。

微纳加工平台主任吴华强介绍说,活动目的是为了让同学们“零距离”接触平台的实验仪器设备,亲身见证科研魅力。参加活动的同学们不仅在讲解老师的带领下参观了平台,还有机会和老师一起欣赏显微镜下的石墨烯材料,更细致入微地体验科学之美和神奇。活动中,同学们不断向老师提问,并得到了细心的解答。大家兴致盎然,在欢声笑语中学到了平时接触不到的相关领域科学知识。

微纳加工平台支持基础信息器件与系统等多领域、交叉学科,开展前沿信息科学研究和技术开发。作为清华大学校级开放共享服务平台,支撑的研究领域包括低维材料及新型器件、柔性电子器件、微流体、生物芯片、纳电子器件、新型存储器、微机电器件与系统(MEMS)等,以材料和工艺技术作为独具特色的主攻领域,鼓励研究人员独立操作科研设备,并提供共享物理空间促进学科交叉。平台致力于建设成为国际一流的信息技术微纳加工环境,是一个“多目标”“开放式”的科研教学实验平台。

微电子学是现代信息学科和产业的基础,没有微电子学的进步就没有信息科学的蓬勃发展和信息社会的飞速前进。清华大学微纳加工平台提供了一个从材料分析、微纳加工、器件测试、封装研究到可靠性测试的全方位创新平台,高水平、跨学科的科研团队不断在这个空间中汇聚,共享先进设备,共促交叉学科发展。

 

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1、平台功能分区

区域名称 

面积(m2

净化级别 

功能

百级区域 

(光刻工艺区) 

120 

100 

ü光学光刻

ü电子束光刻

ü激光直写 

千级区域 

(工艺区) 

800 

1000 

ü薄膜制备工艺 

ü刻蚀工艺 

ü氧化扩散类工艺 

ü湿法制程工艺 

ü工艺参数测试

封装专区 

180 

1000 

ü封装工艺 

ü可靠性测试设备 

测试分析区 

200 

1000 

ü材料物性及结构测试 

ü电参数测试等 

 

2、平台服务模块
     设计、加工与集成、测试分析

 

 

3、平台能力

具有先进设备:E-Beam、SPTS硅深刻蚀、原子沉积系统、激光直写机、Suss MA8双面光刻机等150余台加工与测试设备,具有通用微纳加工线、通用光刻与清洗设备、薄膜设备、刻蚀设备、测试设备、封装设备;和八英寸后道线实现与产业界工艺兼容对接,以及高端研究线,支持信息器件技术新材料、新工艺的前沿基础研究。

4、开放成效

每年利用平台的课题组达到100多个,活跃用户400余人,学科方向覆盖包括信息科学与技术等绝大多数工程与理学学科。

平台连续荣获“清华研发实验服务基地开放服务奖”、每年均有多台设备荣获“清华大学大型仪器设备使用效益奖”。